应用
光学 3D 测量仪器，用于进行共焦 3D 表面测量和地形参数（如粗糙度、步进高度和几何特征）的非接触记录。
详细说明
- 数字摄像头，每秒 1280x1024 像素和 60 帧
- 参考平面的校准对象
- 集成激光二极管 (450 nm)
- Z 轴的步进电机驱动（扫描路径约 20 mm）
- 带玻璃刻度的增量线性测量系统（5 纳米分辨率）
- 用于测量和分析数据（表面轮廓、粗糙度参数）的软件
备注
根据需要，该系统的必要组成部分为扫描台（可选）、透镜和 PC 系统。可根据要求提供更多附件。
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