应用
光学 3D 测量仪器，用于非接触式记录表面粗糙度。测量原理基于共焦显微镜，采用微透镜技术，可实现高光效率。
详细说明
- 数字摄像头，每秒 1280x1024 像素和 60 帧
- 20 倍透镜，工作距离较长
- 参考平面的校准对象
- 集成激光二极管 (450 nm)
- 具有 25 mm 移动距离的线性轴，用于记录符合标准的测量路径
- Z 轴的步进电机驱动（扫描路径约 20 mm）
- 带玻璃刻度的增量线性测量系统（5 纳米分辨率）
- 用于执行粗糙度测量和评估的软件
- 用于控制的 PC
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